半導体業界での提案事例：ＰＥＥＫ樹脂が露光装置関連の部品で採用
その他前工程
ＰＥＥＫ樹脂が露光装置関連の部品で採用
ビクトレックス社のPEEK樹脂（ピーク）が、露光装置関連の保持部品に、評価テスト用として採用されました。
採用グレード ：PEEK450G ※ナチュラルグレード
Before ：金属製
加工内容 ：高精度切削加工 ＜機械加工＞
採用ポイント
①耐摩耗性
②相手材保護
③硬さ
④加工精度 ※平面度、平行度
従来は、金属製を使用されていましたが、相手材の保護から、樹脂化を検討され、用途、使用条件よりPEEK樹脂での製作をご提案させていただき、加工精度面では、平面度、平行度のご要望への対応加工ということで、評価テストを
行って頂くこととなりました。
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