サンゴバン(株)のポリイミド樹脂メルディン(MELDIN)が、チャンバー内で使用される絶縁部品に、評価用として採用されました。
採用グレード :メルディン7001 ※ナチュラルグレード
Before :他ポリイミド樹脂
加工内容 :高精度切削加工
採用ポイント
①絶縁性
②耐熱性
③低アウトガス
④加工精度
設計段階で、MELDINをご提案させていただきました。当初のポリイミドと同等であることををご説明させていただき、サンプルでご評価いただいた上で、評価用としてご採用いただきました。
![]()
エッチング装置関連 スパッタ装置関連 洗浄装置関連 CMP装置関連 コーター関連 ウエハ接触関連 その他前工程 検査装置関連 ハンドラー関連 ボンダー関連 マウンター関連 コレット関連 ハンダボール関連 その他後工程 その他設備 関連情報