ビクトレックス社のPEEK樹脂(ピーク)が、エッチング装置で使用する石英ガラス部品の位置決め用の部品に評価採用されました。
採用グレード :PEEK450G ※ナチュラルグレード
Before :PTFE(テフロン)
加工内容 :高精度機械切削加工
採用ポイント
①耐摩耗性
②摩耗時粉塵が出ない
③機械的強度
④機械加工精度
⑤納期対応
クリーン度を高めるため、今回従来のPTFE(テフロン)製部品に代わる材質での検討がはじまり、物性面でPEEK樹脂、PEEK樹脂の加工実績で、弊社で製作させていただくこととなりました。現在評価用を納めさせていただき、お客様で評価を行っているところです。
![]()
エッチング装置関連 スパッタ装置関連 洗浄装置関連 CMP装置関連 コーター関連 ウエハ接触関連 その他前工程 検査装置関連 ハンドラー関連 ボンダー関連 マウンター関連 コレット関連 ハンダボール関連 その他後工程 その他設備 関連情報