半導体業界での提案事例：スパッタのウエハカセットに装着されるレールにPEEK（ピーク）採用。

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採用事例

スパッタ装置関連

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2006/08/18
スパッタのウエハカセットに装着されるレールにPEEK（ピーク）採用。

今回、摩耗・変形から脱落が起こるPTFEから代替として、ビクトレックス社のPEEK（ピーク）が採用されました。

お客様　：東北地方の半導体デバイスメーカー

グレード　：PEEK450G　　※ナチュラルグレード

用途　：スパッタのウエハカセットに装着されるレール

従来材料　：PTFE（テフロン）　※装置純正部品

採用ポイント
①耐熱性
②耐摩耗性
③機械的強度（変形が少ない）

PTFEの使用時、摩耗、変形により、使用中に脱落が発生する問題がでていました。
代替材料として、PEEKを提案し、使用していただいたところ、変形が少なく、脱落が無くなり、搬送精度が安定するという好結果につながりました。また、現在の使用状況を見る限り、寿命も、PTFEに対して４倍程度の長寿命が見込まれています。

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