半導体業界での提案事例：メタルエッチャーのブッシュに、スミカスーパーS300採用。
エッチング装置関連
メタルエッチャーのブッシュに、スミカスーパーS300採用。
メタルエッチャーのスロットバルブのブッシュに、住友化学（株）の高摺動材料スミカスーパーS300が採用されました。
部品名 ：ブッシュ
使用箇所 ：装置内の圧力コントロールのユニットの摺動部分
従来材質 ：真鍮（しんちゅう）
提案材料 ：スミカスーパーS300（E101＋PTFE）
採用ポイント
①摺動性向上による異音、モーター負荷低減
②高寿命化 →メンテの手間の低減
従来、金属どうしのため、かじりつきが起こりやすく、異音、モータへの負荷の原因となり、交換頻度の高い部品になっていましたが、高摺動特性を持つスミカスーパーS300を使用することにより、スムーズな圧力コントロールが可能となりました。使用を開始して日が浅い為、従来品との交換頻度の比較をするまでには至っていませんが、交換頻度は、確実に低減できると期待されています。
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