スパッタリング装置で使用するピンにサンゴバン㈱のポリイミド MELDIN(メルディン)7001が採用されました。
採用ポイント
①耐熱性
②耐プラズマ性
③コスト
④加工精度、仕上具合
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※他のポリイミドを使用、同材質ということで物性面はクリア、コスト面でのメリット及び、加工精度、仕上具合を評価いただき、採用となりました。
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