住友化学(株)の全芳香族ポリエステル樹脂スミカスーパーS1000が、後工程でのチップの搬送治具に採用されました。
サンゴバン(株)のポリイミド樹脂メルディンが、微細加工対応での吸着コレットに採用されました。
サンゴバン(株)のポリイミド樹脂メルディン7021(グラファイト入)が、他のポリイミド樹脂の吸着コレットの代替として、評価をおこなっていただいています。
エッチング装置関連 スパッタ装置関連 洗浄装置関連 CMP装置関連 コーター関連 ウエハ接触関連 その他前工程 検査装置関連 ハンドラー関連 ボンダー関連 マウンター関連 コレット関連 ハンダボール関連 その他後工程 その他設備 関連情報